カルレッツパーフロロエラストマー
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カルレッツ (R) パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発した新しいエラストマー材料です。 この、エラストマー材料は、テフロンふっ素樹脂のもつ優れた耐薬品性、従来のふっ素ゴムを上回る耐熱性を有し、さらにゴムの持つ弾力性を兼ね備えた画期的な製品で、世界でデュポン ダウエラストマー社だけが製造・販売しています。 カルレッツ (R) パーフロロエラストマーに関する、より専門的な情報はこちらへ ■ カルレッツ (R) とは |
カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの特性
カルレッツ (R) パーフロロエラストマーとは
●カルレッツ (R) パーフロロエラストマーとは
高温でもゴムの特性を失わず、耐薬品性をもった合成ゴムです。
エラストマーの弾力性とシール特性、テフロンの耐薬品性・熱安定性をもった画期的なエストラマー素材がデュポン社によって開発されました。それがカルレッツです。
真空下でもガス発生が少なく、エーテル、ケトン、アミン、酸化剤など、さまざまな薬品に対して耐久性を発揮、さらに腐食性流体と接触した状態での超高温使用でもそのゴムの特性を失いません。そのため、半導体製造、化学薬品輸送機器、原子力、航空機関連、エネルギーなどの分野で広く活用されています。
●カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの特性
カルレッツ パーフロロエラストマーの耐久性は、従来のふっ素ゴムでは使用が難しいかったエーテル類、アミン類、ケトン類、酸化剤、有機溶剤、燃料、酸、アルカリなど、ほとんどの薬品に対して安全性を示し、耐熱性（JISK6301などの圧縮水久ひずみ試験の結果に基づく）においては、300度近くの高温にもゴムとしての物性を比較的保ちます。
このシール材は、テフロン(この名称もデュポン社の商品名です。)－４ふっ化エチレン樹脂のもつ優れた耐薬品性とふっ化エチレン樹脂及び従来のふっ素ゴムを上回る耐熱性(300℃近くの高温でもゴムとしての物性を保ちます。)をもっています。このため従来使用が難しかった部位での使用も可能になり、度重なるシールの破損によるメンテナンスから解放されます。また、デュポン社という高い安全性と信頼性もあり、求められるシーンは多くあります。
高温でもゴムの特性を失わず、耐薬品性をもった合成ゴムです。
エラストマーの弾力性とシール特性、テフロンの耐薬品性・熱安定性をもった画期的なエストラマー素材がデュポン社によって開発されました。それがカルレッツです。
真空下でもガス発生が少なく、エーテル、ケトン、アミン、酸化剤など、さまざまな薬品に対して耐久性を発揮、さらに腐食性流体と接触した状態での超高温使用でもそのゴムの特性を失いません。そのため、半導体製造、化学薬品輸送機器、原子力、航空機関連、エネルギーなどの分野で広く活用されています。
●カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの特性
カルレッツ パーフロロエラストマーの耐久性は、従来のふっ素ゴムでは使用が難しいかったエーテル類、アミン類、ケトン類、酸化剤、有機溶剤、燃料、酸、アルカリなど、ほとんどの薬品に対して安全性を示し、耐熱性（JISK6301などの圧縮水久ひずみ試験の結果に基づく）においては、300度近くの高温にもゴムとしての物性を比較的保ちます。
このシール材は、テフロン(この名称もデュポン社の商品名です。)－４ふっ化エチレン樹脂のもつ優れた耐薬品性とふっ化エチレン樹脂及び従来のふっ素ゴムを上回る耐熱性(300℃近くの高温でもゴムとしての物性を保ちます。)をもっています。このため従来使用が難しかった部位での使用も可能になり、度重なるシールの破損によるメンテナンスから解放されます。また、デュポン社という高い安全性と信頼性もあり、求められるシーンは多くあります。
カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの使用
カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの使用について
●カルレッツ (R) パーフロロエラストマー使用例
カルレッツ部品を半導体製造製置用シール材に用いた場合では、
●カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの用途・実績
半導体製造装置のチャンバーリッド、ゲートバルブ、ガス供給系部品のシール、化学薬品、石油精製、分析機器、計器類、化学薬品の輸送用機器、原子力産業、エネルギー産業、航空機産業など
●おもに使用される業界
工業材料・素材、自動車、化学・石油、民生用電子機器、建築・土木・エンジニアリング、半導体・液晶、食品・薬品製造業
カルレッツ部品を半導体製造製置用シール材に用いた場合では、
●シールの長寿命化
●半導体製品の歩留り向上
●メンテナンスコストの減少
●より低いコンタミネーション
●カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの用途・実績
半導体製造装置のチャンバーリッド、ゲートバルブ、ガス供給系部品のシール、化学薬品、石油精製、分析機器、計器類、化学薬品の輸送用機器、原子力産業、エネルギー産業、航空機産業など
●おもに使用される業界
工業材料・素材、自動車、化学・石油、民生用電子機器、建築・土木・エンジニアリング、半導体・液晶、食品・薬品製造業
カルレッツ (R) パーフロロエラストマーの製品詳細
| カルレッツ (R) のラインアップ | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 8002 | 硬さ（ショアA） | 69* | 4079 | 硬さ（ショアA） | 75 |
| 耐熱目安（℃） | 275 | 耐熱目安（℃） | 316 | ||
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| 充填剤を一切含まず、プラズマ照射時にパーティクルの発生がほとんど無い材質。耐熱性にも優れている。あらゆる種類のプラズマに対して、耐プラズマ性および、耐熱性に優れた材質。 | 強酸、有機酸を含む一般耐薬品性に優れたカルレッツ (R) の標準材質。高温使用時における圧縮永久歪みが最も優れる。アミン類には要注意。熱サイクルでの使用は280℃が望ましい。 | ||||
| 8475 | 硬さ（ショアA） | 72** | 8575 | 硬さ（ショアA） | 74** |
| 耐熱目安（℃） | 300 | 耐熱目安（℃） | 280 | ||
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| 耐熱性、低放出ガス持性に優れた材質。拡散炉、LD-CVD等の耐熱用途に実績がある。 | 耐プラズマ性に優れており、カルレッツ (R) 白色材質の中でプラズマエッチング等に最も実績がある材質。 | ||||
| 7075UP | 硬さ（ショアA） | 75 | 8085 | 硬さ（ショアA） | 82 |
| 耐熱目安（℃） | 327 | 耐熱目安（℃） | 240 | ||
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| 耐熱性、低放出ガス特性に優れた黒のカルレッツ (R) 材質。高温プロセスでのシール性、機械特性も優れている。 | HDPCVD、PECVDのアプリケーション用に開発されたカルレッツ (R) 材質。特にNF3プラズマの環境下でのパーティクルを低減できる材質。機械特性に優れているため、スリットバルブ、ゲートバルブ等にも最適。 | ||||
| 1050LF | 硬さ（ショアA） | 82 | 9100 | 硬さ（ショアA） | 74 |
| 耐熱目安（℃） | 288 | 耐熱目安（℃） | 300 | ||
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| アミン類に対して最適の材質で一般的な耐薬品性に優れている。200℃以上の熱水／水蒸気の雰囲気には注意。高温時の放出ガスが最も少ない。 | フッ素系・酸素系プラズマ両者の耐プラズマ性能を保有し、非常に優れた低パーティクル・放出ガス特性をもっている。固定部・稼動部に関わらず、優れた機械特性とシール性能を示す。 | ||||
| 6375UP | 硬さ（ショアA） | 75 | *JIS6253のスラブによるテスト **AS568A、2140リングによるテスト |
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| 耐熱目安（℃） | 275 | ||||
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| 幅広い腐食性流体に対して耐薬品性が優れた材質。抽出物が非常に少なく、ウェット用途に適している。 | |||||
| （１） ASTM D412,500mm/min. | （２） ASTM D395B pellets | * ** *** ☆ | AS-2140リング JIS6253のスラブによるテスト JIS625ダンベルテスト ASTM D412ダンベル202/m2 |
ファスナーシール（ダイスタット）
ファスナーシールについて
ボルト類の固定用シールのファスナーシール
ファスナーシールの製品紹介
ゴムと金属製リテーナとを組み合わせたボルト類の固定用シールで、ダイスタットとダイスレッドの２種類があります。
※ダイスタット（Daistat）、ダイスレッド（Daithread）は三菱電線工業株式会社の登録商標です。
ゴムと金属製リテーナとを組み合わせたボルト類の固定用シールで、ダイスタットとダイスレッドの２種類があります。
※ダイスタット（Daistat）、ダイスレッド（Daithread）は三菱電線工業株式会社の登録商標です。
ダイスタットとは
- 三菱電線工業株式会社の商品名で、ボルト頭部の固定用シール（ガスケット）です。
- ミリサイズ用とインチサイズ用があります。
- 自動調心型のシールです。
- 自封型のシールです。
- ゴムとリテーナとは機械的に結合されています。
ファスナーシールの特長
- 締付け力が小さくて漏れがゼロ。
- 高圧まで使用可能。
- 溝加工が不要。
- 密封面の精密仕上げが不要、ただし円周方向の節目に加工されていること。
- 寿命がながい。
- 装着および取外しが容易。
- 密着後のシールの確認ができる。
- ねじ位置調整程度のしゅう動をさせても密封ができる。
ボルト類固定用ファスナーシール ダイスレッドファスナーシール（ダイスレッド）
ファスナーシールについて
ボルト類の固定用シールのファスナーシール
ファスナーシールの製品紹介
ゴムと金属製リテーナとを組み合わせたボルト類の固定用シールで、ダイスタットとダイスレッドの２種類があります。
※ダイスタット（Daistat）、ダイスレッド（Daithread）は三菱電線工業株式会社の登録商標です。
ゴムと金属製リテーナとを組み合わせたボルト類の固定用シールで、ダイスタットとダイスレッドの２種類があります。
※ダイスタット（Daistat）、ダイスレッド（Daithread）は三菱電線工業株式会社の登録商標です。
ダイスレッドとは
- 三菱電線工業株式会社の商品名で、ねじ部の固定用シール（ガスケット）です。
- ミリサイズ用があります。
- 自動調心型のシールです。
- ゴムとリテーナとは機械的に結合されています。
- 特殊設計による３か所のリップで、ねじ底部も完全に密封します。
ファスナーシールの特長
- 締付け力が小さくて漏れがゼロ。
- 高圧まで使用可能。
- 溝加工が不要。
- 密封面の精密仕上げが不要、ただし円周方向の節目に加工されていること。
- 寿命がながい。
- 装着および取外しが容易。
- 密着後のシールの確認ができる。
- ねじ位置調整程度のしゅう動をさせても密封ができる。
ボルト類固定用ファスナーシール ダイスタットメタルOリング
メタルOリングについて
メタルOリングの製品紹介
メタルOリングは、高温高圧などの過酷な条件下でも高度なシール性を発揮し、その優秀性は、各方面から高い評価をいただいてまいりました。
さらに三菱電線工業株式会社では、高圧シールよりも困難とされている超高真空・極低音においても高いシール性を保持するメタルOリングを製作しています。
さらに三菱電線工業株式会社では、高圧シールよりも困難とされている超高真空・極低音においても高いシール性を保持するメタルOリングを製作しています。
メタルOリングの特徴
- １） -270℃の極低音から+700℃までの高温に使用できます。
- ２） 300Mpa（約3000kgf/cm2）の超高圧から1.3×10-10Paの超高真空までをシールします。
- ３） シールに要するスペースが小さくてすむため、コンパクトな設計が可能です。
- ４） 他の金属製ガスケットよりも、フランジの締付け力を低減できます。
メタルOリングのシール機構
メタルOリングはフランジ溝に装着し、つぶしを与えることによりその反力によって液体をシールします。ただし、取り外したOリングを再使用はできません。
チューブの種類により液体圧力が7Mpa（約70Kgf/cm2）をこえる高圧の場合は、Oリングの流体側に穴をあけ、中空部分に流体圧を導入し、シール力を増加します。
チューブの種類により液体圧力が7Mpa（約70Kgf/cm2）をこえる高圧の場合は、Oリングの流体側に穴をあけ、中空部分に流体圧を導入し、シール力を増加します。
Oリング規格外サイズ一覧表
規格外サイズ一覧表
| 太さ | 内径 | 太さ | 内径 | 太さ | 内径 | 太さ | 内径 | 太さ | 内径 | ||||
| 2.4 | 270 | 5.7 | 335 | 6.5 | 480 | 8 | 22 | 8.5 | 300 | ||||
| 289 | 360 | 500 | 227 | 395 | |||||||||
| 399 | 370 | 6.98 | 414 | 320 | 495 | ||||||||
| 2.6 | 390 | 375 | 675 | 345 | 510 | ||||||||
| 2.7 | 289 | 380 | 6.99 | 292 | 367 | 9 | 300 | ||||||
| 2.8 | 280 | 385 | 317 | 400 | 310 | ||||||||
| 3 | 295 | 390 | 368 | 404 | 332 | ||||||||
| 470 | 394 | 583 | 427 | 360 | |||||||||
| 3.1 | 280 | 395 | 623 | 440 | 369 | ||||||||
| 345 | 418 | 633 | 441 | 396 | |||||||||
| 350 | 425 | 875 | 460 | 402 | |||||||||
| 395 | 436 | 7 | 313 | 466 | 420 | ||||||||
| 450 | 450 | 333 | 491 | 441 | |||||||||
| 3.4 | 404 | 454 | 342 | 495 | 451 | ||||||||
| 3.5 | 511 | 490 | 353 | 500 | 460 | ||||||||
| 538 | 500 | 355 | 505 | 464 | |||||||||
| 539 | 515 | 360 | 510 | 468 | |||||||||
| 596 | 520 | 367 | 517 | 480 | |||||||||
| 4 | 225 | 534 | 373 | 519 | 490 | ||||||||
| 333 | 554 | 375 | 523 | 500 | |||||||||
| 554 | 570 | 380 | 527 | 515 | |||||||||
| 555 | 590 | 391 | 535 | 527 | |||||||||
| 4.5 | 397 | 625 | 400 | 540 | 530 | ||||||||
| 470 | 660 | 410 | 542 | 540 | |||||||||
| 4.8 | 307 | 5.8 | 484 | 414 | 555 | 545 | |||||||
| 420 | 5.9 | 439 | 418 | 575 | 555 | ||||||||
| 5 | 314 | 6 | 294 | 427 | 585 | 566 | |||||||
| 365 | 310 | 430 | 634 | 580 | |||||||||
| 375 | 318 | 435 | 646 | 590 | |||||||||
| 410 | 345 | 440 | 8.2 | 505 | 614 | ||||||||
| 428 | 350 | 443 | 610 | 666 | |||||||||
| 440 | 355 | 444 | 8.3 | 660 | 10 | 368 | |||||||
| 445 | 385 | 455 | 8.4 | 345 | 410 | ||||||||
| 455 | 390 | 460 | 350 | 415 | |||||||||
| 544 | 402 | 469 | 390 | 430 | |||||||||
| 552 | 410 | 480 | 410 | 440 | |||||||||
| 580 | 418 | 488 | 413 | 450 | |||||||||
| 645 | 419 | 490 | 419 | 455 | |||||||||
| 5.1 | 205 | 425 | 498 | 427 | 460 | ||||||||
| 5.33 | 203 | 426 | 500 | 430 | 480 | ||||||||
| 291 | 440 | 506 | 437 | 488 | |||||||||
| 330 | 445 | 523 | 440 | 500 | |||||||||
| 355 | 472 | 530 | 441 | 530 | |||||||||
| 380 | 474 | 540 | 443 | 545 | |||||||||
| 423 | 490 | 550 | 450 | 585 | |||||||||
| 496 | 580 | 451 | 650 | ||||||||||
| 500 | 600 | 464 | 10.7 | 550 | |||||||||
| 540 | 610 | 475 | 12 | 300 | |||||||||
| 545 | 675 | 481 | 316 | ||||||||||
| 590 | 7.2 | 457 | 482 | 320 | |||||||||
| 591 | 468 | 485 | 326 | ||||||||||
| 611 | 7.5 | 400 | 491 | 330 | |||||||||
| 6.3 | 378 | 451 | 504 | 360 | |||||||||
| 379 | 468 | 513 | 500 | ||||||||||
| 6.4 | 327 | 7.6 | 318 | 545 | 12.6 | 589 | |||||||
| 404 | 565 | 15 | 235 | ||||||||||
| 418 | 570 | 271 | |||||||||||
| 437 | 577 | 432 | |||||||||||
| 516 | 627 | 25 | 464 | ||||||||||
| 533 |